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Modeling and measurements of backside laserprobe signals in MOSFETs
| Titel | Modeling and measurements of backside laserprobe signals in MOSFETs |
|---|---|
| Medien | ESSDERC'95 |
| Verlag | Editions Frontieres |
| Herausgeber | H. C. de Graaf, H. van Kranenburg |
| Verfasser | Prof. Dr. techn. Norbert Seliger, P Habas, E Gornik, H H. C. de Graaf |
| Seiten | 773-776 |
| Veröffentlichungsdatum | 1995 |
| Zitation | Seliger, Norbert; Habas, P; Gornik, E; H. C. de Graaf, H (1995): Modeling and measurements of backside laserprobe signals in MOSFETs. ESSDERC'95, 773-776. |