Optical Testing of submicron-technology MOSFETs and bipolar transistors

Titel Optical Testing of submicron-technology MOSFETs and bipolar transistors
Medien ESSDERC'97
Verlag Editions Frontieres
Herausgeber Grünbacher, H.
Verfasser D Pogany, C Fuerboeck, Prof. Dr. techn. Norbert Seliger, P Habas, E Gornik, S Kubicek, S Decoutere, H Grünbacher
Seiten 372-375
Veröffentlichungsdatum 1997
Zitation Pogany, D; Fuerboeck, C; Seliger, Norbert; Habas, P; Gornik, E; Kubicek, S; Decoutere, S; Grünbacher, H (1997): Optical Testing of submicron-technology MOSFETs and bipolar transistors. ESSDERC'97, 372-375.