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Backside-Laserprober Technique for Characterisation of Semiconductor Power Devices
| Titel | Backside-Laserprober Technique for Characterisation of Semiconductor Power Devices |
|---|---|
| Medien | Proceedings of the Seminar Basics and Technology of Electronic Devices |
| Verfasser | N.Seliger N.Seliger, C Fuerboeck, P Habas, D Pogany, E Gornik, Prof. Dr. techn. Norbert Seliger |
| Seiten | 143-147 |
| Veröffentlichungsdatum | 1997 |
| Zitation | N.Seliger, N.Seliger; Fuerboeck, C; Habas, P; Pogany, D; Gornik, E; Seliger, Norbert (1997): Backside-Laserprober Technique for Characterisation of Semiconductor Power Devices. Proceedings of the Seminar Basics and Technology of Electronic Devices, 143-147. |