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Characterisation of Semiconductor Devices by Infrared Laser Interferometry
| Titel | Characterisation of Semiconductor Devices by Infrared Laser Interferometry |
|---|---|
| Medien | E&I Elektrotechnik und Informationstechnik, Sonderheft Trends in der Mikrotechnik |
| Verfasser | Prof. Dr. techn. Norbert Seliger, E Gornik, D Pogany, C Fuerboeck, P Habas, R Thalhammer, M Stoisiek |
| Seiten | 403 |
| Veröffentlichungsdatum | 1998 |
| Zitation | Seliger, Norbert; Gornik, E; Pogany, D; Fuerboeck, C; Habas, P; Thalhammer, R; Stoisiek, M (1998): Characterisation of Semiconductor Devices by Infrared Laser Interferometry. E&I Elektrotechnik und Informationstechnik, Sonderheft Trends in der Mikrotechnik, 403. |