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Internal Characterisation of IGBTs Using the Backside Laserprober Technique
| Titel | Internal Characterisation of IGBTs Using the Backside Laserprober Technique |
|---|---|
| Medien | Proc. Seminar Aktuelle Entwicklungen der Mikroelektronik |
| Verfasser | C Fuerboeck, R Thalhammer, M Litzenberger, Prof. Dr. techn. Norbert Seliger, G Wachutka, E Gornik |
| Veröffentlichungsdatum | 1999 |
| Zitation | Fuerboeck, C; Thalhammer, R; Litzenberger, M; Seliger, Norbert; Wachutka, G; Gornik, E (1999): Internal Characterisation of IGBTs Using the Backside Laserprober Technique. Proc. Seminar Aktuelle Entwicklungen der Mikroelektronik. |