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Thermal simulation and characterization of GaAs micromachined power-sensor microsystems
more| Titel | Thermal simulation and characterization of GaAs micromachined power-sensor microsystems |
|---|---|
| Medien | Sensors and Actuators A: Physical |
| Verfasser | E Burian, D Pogany, T Lalinsky, Prof. Dr. techn. Norbert Seliger, E Gornik |
| Veröffentlichungsdatum | 1998 |
| Zitation | Burian, E; Pogany, D; Lalinsky, T; Seliger, Norbert; Gornik, E (1998): Thermal simulation and characterization of GaAs micromachined power-sensor microsystems. Sensors and Actuators A: Physical. DOI: 10.1016/S0924-4247(98)00072-7 |