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Study of thermal effects in GaAs micromachined power sensor microsystems by an optical interferometer technique
mehr| Titel | Study of thermal effects in GaAs micromachined power sensor microsystems by an optical interferometer technique |
|---|---|
| Medien | Microelectronics Journal |
| Verfasser | D Pogany, Prof. Dr. techn. Norbert Seliger, T Lalinsky, J Kuzmik, P Habas, P Hrkut, E Gornik |
| Veröffentlichungsdatum | 1998 |
| Zitation | Pogany, D; Seliger, Norbert; Lalinsky, T; Kuzmik, J; Habas, P; Hrkut, P; Gornik, E (1998): Study of thermal effects in GaAs micromachined power sensor microsystems by an optical interferometer technique. Microelectronics Journal. DOI: 10.1016/S0026-2692(97)00057-8 |