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Benchmark test of Monte-Carlo simulation for high resolution electron beam lithography
| Titel | Benchmark test of Monte-Carlo simulation for high resolution electron beam lithography |
|---|---|
| Medien | Microelectronic Engineering |
| Verfasser | Karl-Erwin Hoffmann |
| Veröffentlichungsdatum | 25.07.2012 |
| Zitation | Hoffmann, Karl-Erwin (2012): Benchmark test of Monte-Carlo simulation for high resolution electron beam lithography. Microelectronic Engineering. |