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Total process function in electron beam lithography
mehr| Titel | Total process function in electron beam lithography |
|---|---|
| Medien | Microelectronic Engineering |
| Verfasser | Karl-Erwin Hoffmann |
| Veröffentlichungsdatum | 01.08.2015 |
| Zitation | Hoffmann, Karl-Erwin (2015): Total process function in electron beam lithography. Microelectronic Engineering. DOI: 10.1016/j.mee.2014.12.010 |