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Point spread function and total process function measured for a variable-shaped electron beam system
mehr| Titel | Point spread function and total process function measured for a variable-shaped electron beam system |
|---|---|
| Medien | Journal of Vacuum Science & Technology B |
| Verfasser | Karl-Erwin Hoffmann |
| Veröffentlichungsdatum | 24.03.2016 |
| Zitation | Hoffmann, Karl-Erwin (2016): Point spread function and total process function measured for a variable-shaped electron beam system. Journal of Vacuum Science & Technology B. DOI: 10.1116/1.4944658 |